機能樹脂

東邦化成のフッ素樹脂(パーフロ)シール材(DUPRA)

フッ素樹脂(パーフロ)シール材(DUPRA)

Daikin Ultra Pure Rubber Arts

DUPRA とは

DUPRAは、ダイキングループの東邦化成が提供するパーフロエラストマー(FFKM)です。

パーフロエラストマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)と同様に、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、耐候性等の多くの優れた性能を有します。

パーフロエラストマーのポリマー骨格は、炭素とフッ素(C-F)から構成されており、一般的な有機化合物の骨格である炭素と水素(C-H)の結合エネルギーよりも高く、安定しているため、外部からのあらゆるエネルギーに対して高い耐性を示します。

※エラストマーとは、構成するポリマー同士を架橋させる事で、弱い力で変形し力を除いた後、急速にほぼ元の形状寸法に戻る性質を持つ高分子材料を示します。

耐熱性、耐薬品性、耐ガス性、低放出ガス性、クリーン性、耐プラズマ性

DUPRAの製品ラインナップ

推奨プロセス 熱プロセス
Oxidation/Diffusion
プラズマプロセス
CVD/Etching/Ashing
洗浄プロセス
Wet
製品ラインナップ DU351 DU353 (E) DU551 DU3R1 (E) DU341 DU354
特長 標準 耐熱性 超耐熱性 プラズマ耐性 フッ素
ラジカル耐性
薬液耐性
外観 DU351の商品写真 DU353(E)の商品写真 DU551の商品写真 DU3R1(E)商品写真 DU341商品写真 DU354商品写真
連続使用耐熱温度(目安) [℃] 290 295 300 295 295 290
耐熱温度(目安) [℃] 310 310 330 305 305 300
硬さ(1)《ShoreA》 74 77 75 74 72 75
引張強さ(2) [MPa] 19.0 18.6 17.5 15.0 14.0 16.1
破断時伸び(2) [%] 200.0 205.0 170.0 260.0 250.0 205.0
100%モジュラス(2) [MPa] 5.2 6.0 7.4 5.2 2.6 6.0
圧縮永久
ひずみ(3)
250℃
70時間後
[%] 10 8 8 12 10 32
300℃
70時間後
[%] 30 24 18 33 30
オプション
低固着グレード

DUPRA 各品番の特長

品番 特長
DU351 フッ素ゴム(FKM)を凌ぐ耐熱・耐薬品性能を有する。
金属含有量の極めて少ないDUPRA の標準品番。
DU353 (E) 熱プロセスにおける標準品番。
FFKM の中でも、優れた耐熱性・耐ガス性を発揮する。
DU551 超耐熱品番。DU353 (E) の性能を維持した上で、耐熱性が向上。
FFKM の中で、トップクラスの耐熱性能を発揮する。
DU3R1 (E) プラズマプロセスの標準品番。
酸素、フッ素プラズマに対する重量変化、発塵が少ない。
DU341 フッ素系ラジカル耐性が高く、プラズマプロセスにおいて、
最高のパフォーマンスを発揮する。
DU354 洗浄プロセス向けの品番。
強酸・強アルカリなどの薬液に対して優れた耐性を有し、金属溶出が極めて少ない。

DUPRA 用途別選定表

プロセス シール材周辺環境 推奨品番
温度 ガス種
熱プロセス 耐熱性 LPCVD
Oxidation
Diffusion
Lamp Anneal
ALD
25~
300℃
O2, H2O, H2O2, O3,NH3, SiH4, N2, HCI,NF3, CIF3, F2, HF, etc DU551
DU353 (E)
DU351
プラズマ
プロセス
耐プラズマ性 HDPCVD
PECVD
MetalCVD
Etching
Ashing
25~
250℃
CF4, O2, HBr, Cl2,NH3, SiH4, H2O, Vaper, TEOS, NF3,CIF3, F2, HF, etc DU341
DU3R1 (E)
DU353 (E) / DU551
洗浄
プロセス
耐薬品性 Cleaning
Etching
Stripping
25~
180℃
SC-1, SC-2, O3, HF,H2SO4, H2OVaper,IPA, H2O2, NH3,Hydroxilamine etc DU354

用途例

  • 半導体製造装置用部材
  • 半導体バルブシート