フッ素樹脂（パーフロ）シール材（DUPRA） oリング｜ダイキンファインテック株式会社

フッ素樹脂（パーフロ）シール材（DUPRA）

Daikin Ultra Pure Rubber Arts

DUPRAは、ダイキングループのダイキンファインテックが提供するパーフロエラストマー（FFKM）です。

パーフロエラストマーは、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）と同様に、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、耐候性等の多くの優れた性能を有します。

パーフロエラストマーのポリマー骨格は、炭素とフッ素（C-F）から構成されており、一般的な有機化合物の骨格である炭素と水素（C-H）の結合エネルギーよりも高く、安定しているため、外部からのあらゆるエネルギーに対して高い耐性を示します。

※エラストマーとは、構成するポリマー同士を架橋させる事で、弱い力で変形し力を除いた後、急速にほぼ元の形状寸法に戻る性質を持つ高分子材料を示します。

推奨プロセス			熱プロセス Oxidation/Diffusion			プラズマプロセス CVD/Etching/Ashing		洗浄プロセス Wet
製品ラインナップ			DU351	DU353 (E)	DU551	DU3R1 (E)	DU341	DU354
特長			標準	耐熱性	超耐熱性	プラズマ耐性	フッ素ラジカル耐性	薬液耐性
外観
色			黒	黒	黒	赤	茶	黒
連続使用耐熱温度（目安）		[℃]	290	295	300	295	295	290
耐熱温度（目安）		[℃]	310	310	330	305	305	300
硬さ⁽¹⁾《ShoreA》		－	74	77	75	74	72	75
引張強さ⁽²⁾		[MPa]	19.0	18.6	17.5	15.0	14.0	16.1
破断時伸び⁽²⁾		[％]	200.0	205.0	170.0	260.0	250.0	205.0
100％モジュラス⁽²⁾		[MPa]	5.2	6.0	7.4	5.2	2.6	6.0
圧縮永久ひずみ⁽³⁾	250℃ 70時間後	[％]	10	8	8	12	10	32
圧縮永久ひずみ⁽³⁾	300℃ 70時間後	[％]	30	24	18	33	30	－
オプション低固着グレード			－	〇	〇	－	－	－

品番	特長
DU351	フッ素ゴム（FKM）を凌ぐ耐熱・耐薬品性能を有する。金属含有量の極めて少ないDUPRA の標準品番。
DU353 (E)	熱プロセスにおける標準品番。 FFKM の中でも、優れた耐熱性・耐ガス性を発揮する。
DU551	超耐熱品番。DU353 (E) の性能を維持した上で、耐熱性が向上。 FFKM の中で、トップクラスの耐熱性能を発揮する。
DU3R1 (E)	プラズマプロセスの標準品番。酸素、フッ素プラズマに対する重量変化、発塵が少ない。
DU341	フッ素系ラジカル耐性が高く、プラズマプロセスにおいて、最高のパフォーマンスを発揮する。
DU354	洗浄プロセス向けの品番。強酸・強アルカリなどの薬液に対して優れた耐性を有し、金属溶出が極めて少ない。

プロセス		シール材周辺環境		推奨品番
プロセス		温度	ガス種	推奨品番
熱プロセス	LPCVD Oxidation Diffusion Lamp Anneal ALD	25～ 300℃	O2, H2O, H2O2, O3,NH3, SiH4, N2, HCI,NF3, CIF3, F2, HF, etc	DU551 DU353 (E) DU351
プラズマプロセス	HDPCVD PECVD MetalCVD Etching Ashing	25～ 250℃	CF4, O2, HBr, Cl2,NH3, SiH4, H2O, Vaper, TEOS, NF3,CIF3, F2, HF, etc	DU341 DU3R1 (E) DU353 (E) ／ DU551
洗浄プロセス	Cleaning Etching Stripping	25～ 180℃	SC-1, SC-2, O3, HF,H2SO4, H2OVaper,IPA, H2O2, NH3,Hydroxilamine etc	DU354